항 목

내 용

단위

Miter법을  주로 하고, 영국 단위를 병용해서 기록

Class 표시

0.5㎛이상의  입자수를 10/㎥로 하고 X를 Class 표시로 했다.

Miter법 표시임을 명확히 하기 위해 M을 부가했다. 예를 들면 209D 에 있어서 Class 100은 100P/ft≒10 P/㎡ 이고, Class M3.5로 표시합니다.

Class분류

209D  Class 1보다 청정도가 높은 Class M1 및 Class 100,000보다 청청도가 낮은 Class M7을 추가했습니다.

미소입자계측

계측에 CNC의 사용을 가능하게 하고, 그 경우 계측 입자 지름을 0.02㎛ 이상으로 했습니다.

이 경우 표시는 Class U(X)로 합니다.

U = 미소입자 계측표시 X = 최대 허용 입자농도 P/㎥

표준측정입자

0.1,  0.2, 0.3, 0.5, 5Micron을 기준으로 하나, 그 외의 입자 지름을 사용해도 좋습니다.

샘플링

계측  장소에 따라 다른 샘플링 유량에 의해 계측해도 좋으나, 입자농도는 개/단위체적으로 표시할 것.

샘플링 점이 10군데 이상인 경우 측정치는 단순평균으로 괜찮다.

Class M2.5보다 청정도가 높은 경우에는 계측 시간단축을 위해 연속 샘플링을 해도  좋습니다.

부록

209D의  관련규격, 용어는 삭제되고, 등속 흡인법, 초미소립자 농도 측정법, Class M2.5 보다 청정도가 높은 경우의 연속 샘플링법의 3항목이  추가됩니다.

Class표시

Class상한치

0.1㎛

0.2㎛

0.3㎛

0.5㎛

5㎛

단위체적

단위체적

단위체적

단위체적

단위체적

Miter법

영국단위

(㎥)

(ft3)

(㎥)

(ft3)

(㎥)

(ft3)

(㎥)

(ft3)

(㎥)

(ft3)

M1

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10

0.283

…

…

M1.5

1

1,240

35

265

7.5

106

3

35.3

1

…

…

M2

12,400

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

…

…

M2.5

10

35,000

350

2,650

75

1,060

30

353

10

…

…

M3

…

991

7,570

214

3,090

87.5

1,000

28.3

…

…

M3.5

100

…

…

26,500

750

10,600

300

3,530

100

…

…

M4

…

…

75,700

2,140

30,900

875

10,000

283

…

…

M4.5

1,000

…

…

…

…

…

…

35,300

1,000

247

7

M5

…

…

…

…

…

…

10,000

2,830

618

17.5

M5.5

10,000

…

…

…

…

…

…

353,300

10,000

2,470

70

M6

…

…

…

…

…

…

1,000,000

28,300

6,180

175

M6.5

100,000

…

…

…

…

…

…

3,530,000

100,000

24,700

700

M7

…

…

…

…

…

…

10,000,000

283,000

61,800

1,750

Class표시

기류형태

평균기류속도

시간당환기

M7 & M6.5 (Class 100,000)

NM

.005-.041  m/sec (1-8ft/min)

5-48

M6 & M5.5 (Class 10,000)

NM

.051-.076  m/sec (10-15ft/min)

60-90

M5 & M4.5 (Class 1,000)

NM

.127-.203  m/sec (20-40ft/min)

150-240

M4 & M3.5 (Class 100)

UNM

.203-.406  m/sec (40-80ft/min)

240-480

M3 & M2.5 (Class 10)

U

.254-.457  m/sec (50-90ft/min)

300-540

M2 & M1.5 (Class 1)

U

.305-.457  m/sec (60-90ft/min)

360-540

M1 Cleaner

U

.305-.508  m/sec (60-100ft/min)

360-600

항목

내용

출입구

입구, 출구는 최소로 하고 따로 생각해야 합니다. (특히, Air Shower설치시)     

직접 외기에 닿지 않도록 할 것 (Air 락룸)

위치는 하류로 한다. (특히 크로스플로어)

갱의실

갱의실 공기량은 많이 취해야 합니다.

세면대를 부착시키고, 사람이 많은 경우는 음료수를 준비

Clean Room간은 적어로 이중문으로 해야 합니다. (Air Shower장치  설치)

내부와의 통신을 가능하게 해야 합니다.

필요하다면 휴식실을 설치해야 합니다.

반출·반입

가능한 한 Pass Box를 이용 (부품)

반입구를 부착시킵니다. (대형장치)

실내배치

최소로 합니다. 단순하게 합니다.

관리사무소를 외부에 둔다. 연락법 고려.

확장계획 · 사람의 이동을 최소로 합니다.

청정기류 방향과 작업위치

발진 작업에는 칸막이, 국소배기, Retum Duct로 대책.

실내설비

배선, 관Duct 노출은 최소로 합니다.

조명기구는 가능한 한 천장안으로.

비상구, 화재경보, 소화기, 정전, 유독가스

인터폰, 전화

청소

입자농도, 온도, 습도기록